本书介绍了微光机电系统(Micro-Optical—Electro—Mechanical System．MOEMS)的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等人手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑选用。
本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员、科技
管理人员以及相关专业研究生的参考书。